De optiek in deze machines, lenzenkolommen en in de allernieuwste machines spiegelsets, is cruciaal voor de werking ervan. ASML wil dat Zeiss nieuwe spiegels ontwikkelt voor de volgende generatie chipmachines met extreem ultraviolet (EUV) licht die na ...
Datum: 28-06-2017 16:44 | Bron: Eindhovens Dagblad
Keer terug naar het nieuwsoverzicht: Optiek nieuws